半导体用气的性质及其使用的注意事项

在半导体制造过程中，使用哪些气体?这些气体有哪些性质?使用这些气体时要注意哪些方面?本文将对这些问题进行简要说明。

一、气体的物理与化学性质

把常用的气体按其用途分类列于下表。它们的共同点是无色、透明，具有不愉快的味道；除一、两种外，比重都比空气大，且随温度上升而分解。

对人体的毒性

从上面可以看出，这些气体对人体有害。它们不仅在化学上不稳定，还会影响人体血液、神经或内脏。因此，处理这些气体更加困难。有些气体的允许浓度很低，根据吸入量，有些气体会在很短的时间内危及生命。

如果发生气体泄漏或吸入，必须根据气体类型进行适当处理。

3、使用注意事项

虽然气体的使用技术非常简单，但它包括各种内容。安全有效地处理这些有害气体也是一个重要问题。因此，以下主要介绍在各种情况下使用气体的注意事项。

1.一般事务

（1）相关规定

①《高压气体管理法》；②剧毒物质管理法；③某些化学品的事故预防规则；④化学品核查条例法；⑤船上危险货物运输和储存规定。

（2）容器、阀门、调节器等。

如果你使用气体，你需要容器、阀门、调节器等。具备基本知识。

①容器：日本行业标准、品牌、内表面处理、容器阀门、检验；

②阀门：类型、结构、材料、半导体气体的必要条件、故障排除；

③其他：管道、压力表。

（3）清洁

①连续清洗②中间清洗

（4）安全管理

①操作标准化：a.操作，其他；b、设备和仪器的维护和检查。②安全教育。③安全委员会和其他控制机构

（5）气体泄漏检测方法

①检查可能发生泄漏的地方②检查膨胀气体扩散模式和探测器设置点；③不同的检测方法。

2.储存过程中的注意事项

（1）在指定地点，应分类放置并做好标识，防止倒置，任何人不得进入；

（2）保持温度，防止阳光直射、雨水和灰尘。

（3）储气罐内不得放置易燃、易爆或腐蚀性物质。

4）进入储存现场时应采取预防措施。

（5）确定进入加注容器时是否有空气泄漏。

3.运输过程中的注意事项

（1）装载车辆时，注意标志，安装盖子，禁止撞击，禁止水平放置液化石油气容器，以确保维护空间和紧固件可用。

（2）开车时，一定要遮住阳光。禁止开车、停车或突然转弯。禁止在繁忙的街道上行走。如果集装箱受到严重影响，他们应该自豪地检查气体泄漏并携带必要的物品。

3）熟悉急救方法。

4.使用过程中的注意事项

（1）在安装和使用容器之前，应标识清楚的标志，并记录必要的事实。

（2）检查水、灰或异物是否附着在容器阀门安装开口上。

（3）更换容器时，应清洁并检查其密封性。

（4）确认容器内是否有气体。

（5）使用过程中必须存在残余压力。

（6）安装接头盖和保护盖。

（7）定期检查漏气、压力表、安全阀等。

（8）含有氢气或氢气背景气体的船舶应接地。

（9）当容器在使用中时，不得填充规定以外的气体。

（10）清除自燃气体。

（11）防止管道、阀门和其他气体连接受到污染。

（12）防止LPG系统的液体密封。

（13）通风的安全处理。

5.应急处理

包括（1）中毒，（2）火灾，（3）泄漏处理。

如上所述，半导体中使用的许多气体在物理和化学方面都非常危险，而且对人体也有很强的毒性。

为了安全、正确和有效地使用这种气体，有必要在高水平上掌握关于各种气体性质的广泛知识和管理技术。最近，硅烷、磷化氢等正在发展。高浓度、高压力和高质量，这一趋势对管理技术的要求越来越严格。

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